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誠峰發(fā)現(xiàn)影響等離子清洗機的效果的要素有哪些呢?

誠峰發(fā)現(xiàn)影響等離子清洗機的效果的要素有哪些呢?
誠峰發(fā)現(xiàn)等離子清洗機在工作時能控制各功能部件,在清潔模式下,射頻功率.清洗時間等均可由觸摸屏設(shè)定,如需充氣時可選擇兩個氣路,并分別設(shè)置充氣流量。那么接下來就一同來了解影響等離子清洗效果的關(guān)鍵要素都有哪些。
(1誠峰)等離子清洗機功率
電漿密度、能量與射頻功率成正比關(guān)系,因此在清洗時應(yīng)加大清洗功率以提高清洗的程度,提高清洗效率,但是當功率太大時,離子溫度就會升高,金屬襯底或其它在高溫條件下容易氧化的材料將被氧化而破壞,而其它不耐高溫的部件如塑料等也可能損壞,所以在清洗前可借助仿真來合理選擇所需功率,既要滿足經(jīng)濟性要求又要保證清洗效果和清洗效率。
(2)誠峰等離子清洗機時間
一般情況下,既要保證清潔效果,也要花費較少的時間,才能提高清洗效率,但所用時間是與各個參數(shù)相關(guān)的。一般情況下,功率越大,需要的清洗時間就越短,但是耗電也會越大,功率的增加會使反應(yīng)腔與部件之間的溫度升高,同時還會引起許多其它問題,如零件被損壞、腐蝕等。所以要不停地摸索清洗時間.功率.壓力與氣體種類及比例的關(guān)系來選擇最佳的清洗工藝。

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(3)誠峰等離子清洗機溫度
等離子轟擊使工件溫度升高,等離子清洗過程中,射頻功率和清洗時間都會影響工件的溫度。國際上的研究表明,射頻頻率與溫度呈反比:與射頻功率成正比,溫度越高;對不同材料的溫度有不同的要求,金屬件一般沒有特別的要求但要注意防止金屬的氧化,非金屬等溫度要低,防止變形。
(4)誠峰等離子清洗機壓強
在設(shè)備運轉(zhuǎn)過程中,真空腔體內(nèi)的壓力關(guān)鍵受到漏氣率、充氣速度和抽氣速度的影響。對于不同的材料和要去除的污染物,要求的壓力也不一樣。在充填氬、氮等非活性稀有氣體時,凈化過程關(guān)鍵依靠離子的物理轟擊,這時可通過提高抽速或降低抽氣速度,以保證真空室壓力較低,壓強低可使離子能以更高的能量轟擊到基體表面,提高清洗效果;但工作壓力不能過低,在壓力過低時,如果離子濃度降低,離子轟擊裝置表面,也會影響清洗效果。在化學(xué)清洗占主導(dǎo)地位時,要適當提高清洗時的工作壓力,此時應(yīng)增加充氣流量,以增加反應(yīng)器內(nèi)反應(yīng)氣體的濃度,讓更多的離子參與化學(xué)反應(yīng),以保證清潔效果。
以上是關(guān)于誠峰等離子清洗機在處理過程中,會受影響的要素,如對大家有幫助,歡迎收藏加關(guān)注喔。

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