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plasma原子團化學反應在多晶硅工業行業的應用研究：
化學反應即原子或原子團層面的重新組合，需要外界提供必要的反應活化能。相對plasma而言，工業生產的反應物質多呈密集的凝聚態。參加反應氣體大多是“高濃度”的致密層，使向反應體系持續傳遞大的激勵能量相當困難，一些需要特大活化能的化學反應在常規技術條件下很難實現。
化學與物理學之間聯系緊密分子中電子運動、原子間相互作用力、原子和分子的受激與電離等微觀形態，決定了物質的物化性質和化學反應能力。因此應用物理方法使物質的狀態發生變化，可導致化學變化或影響化學反應進行。
為此電場向反應室內的氣體分子直接傳遞能量，產生具有足夠大能量的電子與氣體分子進行非彈性碰撞，將電子的幾乎全部能量傳遞給參加反應的氣體分子，使反應室內氣體產生大量的光子、電子、離子、自由基以及活性原子激發態原子和活性分子等為其化學反應提供極活潑的活性粒子，從而使得很多化學反應條件變得溫和提高化學反應效率。
自然界中物質存在形式有固態、液態及氣態，其中固態的組成粒子之間的結合致密，液態次之，氣態分散。要實現物質在緊密到分散的聚合態的轉化需要提供額外的能量破壞原粒子間較大的結合能。同理，當物質為氣態后，繼續提供能量組成氣體物質粒子發生電離即形成plasma。
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