支持材料 測(cè)試、提供設(shè)備 試機(jī)
20年專注等離子清洗機(jī)研發(fā)生產(chǎn)廠家
20年專注等離子清洗機(jī)研發(fā)生產(chǎn)廠家
等離子技術(shù)是一新興的領(lǐng)域,該領(lǐng)域結(jié)合等離子物理、等離子化學(xué)和氣固相界面的化學(xué)反應(yīng),此為典型的高科技產(chǎn)業(yè),需跨多種領(lǐng)域,包括化工、材料和電機(jī),因此將極(具)挑戰(zhàn)性,也充滿機(jī)會(huì),由于半導(dǎo)體和光電材料在未來(lái)得快速發(fā)展中離不開(kāi)等離子清洗。等離子清洗機(jī)已應(yīng)用于各種電子元件的制造,可以確信,沒(méi)有等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù),就沒(méi)有今天這么發(fā)達(dá)的電子、資訊和通訊產(chǎn)業(yè)。此外,等離子清洗機(jī)及其清洗技術(shù)也應(yīng)用在光學(xué)工業(yè)、機(jī)械與航天工業(yè)、高分子工業(yè)、污染防治工業(yè)和量測(cè)工業(yè)上,而且是產(chǎn)品提(升)的關(guān)鍵技術(shù)、比如說(shuō)光學(xué)元件的鍍膜、延長(zhǎng)模具或加工工具壽命的抗磨耗層,復(fù)合材料的中間層、織布或隱性鏡片的表面處理、微感測(cè)器的智造,超微機(jī)械的加工技術(shù)、人工關(guān)節(jié)、骨骼或心臟瓣膜的抗摩耗層等皆需等離子技術(shù)的進(jìn)步,才能開(kāi)發(fā)完成。
在化學(xué)反應(yīng)里常用的氣體有氫氣(H2)、氧氣(O2)、四氟化碳(CF4)等,這些氣體在電漿內(nèi)反應(yīng)成高活性的自由基,其方程式為:這些自由基會(huì)進(jìn)一步與材料表面作反應(yīng)。其反應(yīng)機(jī)理主要是利用等離子體里的自由基來(lái)與材料表面做化學(xué)反應(yīng),在壓力較高時(shí),對(duì)自由基的產(chǎn)生較有利,所以若要以化學(xué)反應(yīng)為主時(shí),就必須控制較高的壓力來(lái)進(jìn)行反應(yīng)。
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