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電漿清洗機電源完整性電源系統規劃應注意幾點：
(1)電漿清洗機電源完整性電源系統噪聲余量剖析絕大多數芯片都會給出一個正常工作電壓范圍，通常為±5%。過去穩壓片的導出電壓精度通常為±2.5%，所以電源噪聲的峰值幅度不宜大于±2.5%。精密度是有條件的，包含負載情況、工作溫度等限制.
(2)整個設備電漿清洗機電源噪音余量的核算,諸如芯片的穩定工作電壓是3.13V到3.47V，穩壓芯片為名導出是3.3V。整個設備布置在主板上，整個設備電源穩壓芯片導出3.36V。隨后，許可的電壓變化幅度是3.47-3.36=0.11V=110mV。穩壓片控制精度±1%，即±3.363*1%=±33.6mV。電力系統噪聲的余量是110-33.6=76.4mV。
(3)電漿清洗機電源整流器電源噪音如何產生,穩壓電源芯片本來的導出忽高忽低，也會產生一定波動。另一個是穩壓電源不能實時響應負載對電流要求的快速變化。整流電源穩壓電源芯片感知其輸出電壓的變化，調整其輸出電流，使其回到額定輸出電壓。其三，負載瞬態電流在電源途徑阻抗和地途徑阻抗上產生的壓降，引腳及焊盤本身都會有寄生電感，瞬態電流流經該通道時必然產生壓降，所以，電源完整性所以，負載芯片電源引腳處的電壓會隨瞬態電流的變化而搖動，這就是發生阻抗時產生的電源噪聲。
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