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等離子體是由多種粒子組成的復雜體系催化劑大多為吸附了金屬活性組分的多孔介質，當催化劑與等離子體接觸時相互之間會產生一定影響。催化劑的物理化學性能等發生變化，從而提高催化劑的活性和穩定性等離子體的粒子類型和濃度發生變化促進等離子體化學反應。只有當分子的能量超過活(化)能時，才能發生化學反應。在傳統化學中，這種能量是通過分子與分子或分子與壁面之間的碰撞進行傳遞的。在等離子體中，一方面，振動能可以通過循序漸進的方式逐漸增加到很低反應能量；另一方面，電子與分子的碰撞能傳遞更多的能量，從而將中性分子變成多種活性組分或將中型粒子電離，新組分主要包括超活性中性粒子、陽離子和陰離子。在常規化學反應不能產生大量新組分的情況下，等離子體成了一種功能很強大的化學手段，擔負起了催化劑角色。一般情況下，溫度較低的反應或者給定溫度下速率加快的反應都是受到了等離子體的影響。
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