利用電漿清洗機的蝕刻系統(tǒng)除去孔內(nèi)的灰塵和微蝕刻:
       電漿清洗機從二十世紀初開始。伴隨著高科技產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，它的應(yīng)用日益廣泛，目前在很多高科技領(lǐng)域都處于核心位置，電漿清洗機對產(chǎn)業(yè)經(jīng)濟和人類文明的影響最為顯著，首推了電子工業(yè)，特別是半導(dǎo)體光電行業(yè)。電漿清洗機具有成本低、勞動量小、工作效率高等優(yōu)點，是1種新型的電漿清洗機方式。

       我們都知道，太陽能光伏產(chǎn)業(yè)對清潔生產(chǎn)技術(shù)要求很高。太陽極硅片材即使無電子級要求，但純度也非常高，等離子清洗技術(shù)誕生后，在切片等工序中，為了清洗硅晶片和多余雜質(zhì)，電漿清洗機變成1種常用的清洗方式。在綜合了等離子物理、等離子化學(xué)和氣-固界面化學(xué)反應(yīng)，有效去除表面污漬和附著力。
       電漿清洗機技術(shù)應(yīng)用于各種電子零部件的制造中，沒有電漿清洗機技術(shù)，就沒有現(xiàn)在這樣發(fā)達的電子、信息、通信行業(yè)。另外，等離子清洗技術(shù)還可以應(yīng)用在光電、航空、聚合物等行業(yè)，也可以用在光學(xué)元件上鍍，通過電漿清洗機工藝技術(shù)處理過后，可以延長模具或刀具壽命，增強耐磨層、提升復(fù)合材料、纖維織布或內(nèi)含鏡片的表面附著力等，以上領(lǐng)域在生產(chǎn)過程中，會遇到粘接不牢固等問題，都需要電漿清洗機的進步才能實現(xiàn)。電漿清洗機具有工藝簡單、節(jié)能、節(jié)省材料，降低了材料需求的特點。它是通過等離子轟擊物體表面而實現(xiàn)PBC去污的。利用電漿清洗機的蝕刻系統(tǒng)除去孔內(nèi)的灰塵和腐蝕，從而除去鉆孔中的絕緣，最終提高產(chǎn)品質(zhì)量。