支持材料 測(cè)試、提供設(shè)備 試機(jī)
20年專注等離子清洗機(jī)研發(fā)生產(chǎn)廠家
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真空等離子清洗機(jī)的進(jìn)氣量是由流量計(jì)所控制的,它的工作原理是通過調(diào)節(jié)通入氣體閥門的大小來實(shí)現(xiàn)通流量的控制,等離子清洗機(jī)使用的流量計(jì)分為氣體浮子流量計(jì)和質(zhì)量流量控制器(MFC)兩種。氣動(dòng)球閥具有高真空密封、耐腐蝕、口徑大等特點(diǎn),所以當(dāng)真空等離子清洗需通入特殊單體時(shí)會(huì)被應(yīng)用于氣路控制中。根據(jù)實(shí)際使用需求選用兩通式或三通式。
氣體浮子流量計(jì)是通過手動(dòng)調(diào)整開啟閥門的大小來實(shí)現(xiàn)氣體流量控制,閥門開啟后會(huì)受氣體壓力變化、震動(dòng)等多因素影響而造成實(shí)際通入氣體流量浮動(dòng)范圍大,不適用于對(duì)工藝氣體流量要求嚴(yán)格的等離子清洗機(jī)。
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